非接觸在線式太陽電池硅片量測儀
MX152
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♦ 非接觸式電容感應量測方式
♦ 最小刻度為0.1μm，重覆性誤差0.25μm
♦ 可量測厚度、TTV、電阻率、P/N
♦ 可搭配全自動In-Line量測
♦ 產能大於3,600 wafer/hr (依傳送速度而定)
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